实验室防静电接地，采用铜排，在室内敷设一圈接地装置，通过接地铜排与实验室防静电桌面进行连接。

总体来说做的还算是比较规范的，作为洁净厂房，后续改造时，地面铜牌应考虑入地。

由于工艺要求，该环境要求防静电接地在MEB前要与其他接地严格分开。